第171章 里程碑,史前第一台70nm光刻机!(2 / 2)

 都市種田 2172 字 2023-05-28

半導體商面臨的最大問題往往都是產能,時間對於他們來說就是生命。

一臺可拆卸的刻光機可以解決很多產能問題。

在金錢的刺激下,拜爾斯主動提議道:

“老闆,我們目前要解決的便是訂單問題,有了訂單,生產線才能全力運作起來。

我們可以試著找巨頭IBM聊聊,他們曾公開表示誰第一個生產出更精細的光刻設備就會找誰合作。”

這件事邱明祥也是知道的,解釋道:

“IBM在89年率先宣佈他們成功在8英寸晶圓上製造芯片,工藝製程將精細到365nm,他們的總裁呼籲光刻機廠商研發精度更高的光刻設備。

並且公開保證,誰第一個造出來,IBM將優先購買他們的光刻機!”

王磊眼睛一亮,他正在為光刻機賣給誰,買主不就這麼來了嗎。

“這一次展會,一定要邀請IBM的人來觀摩觀摩,要知道我們的光刻機精度可是提升到了70nm!”

遠遠超過了IBM所要求的365nm。

王磊很期待看到一群老外驚訝錯愕的眼神。

幾人都不由的相識一笑。

“老闆,只要拿下IBM,我們的市場佔有率可以提高到5%!”

見拜爾斯有點飄的樣子,王磊還是忍不住敲打道:

“拜爾斯,雖然我們目前製造出了遠超同行的光刻設備,但遠遠沒有到可以大意的時候,我們要儘早將光源波長提高到157nm!”

光刻機技術的升級,可以簡單的看作光源波長的升級。

通過用更高級的曝光光源,來支撐技術進步到下一代。

為了追求更高的分辨率,光源波長從最初的365nm,到248nm,再到如今pas 5500使用的193nm。

據王磊對光刻機發展進程的瞭解,想要從248nm進化到193nm並不是最難的一步。

用不了幾年,尼康、佳能、以及美麗國的GCA都會相繼走到這一步。

最困難的還是向157nm的技術升級。

所有的大廠商都被卡在這一步上。

誰先邁出這一步,便會奠定一超多強的格局,徹底成為光刻機行業的霸主。

拜爾斯也沒有預料到王磊的野心會如此的大,剛完成了技術升級,又開始琢磨著下一代光刻機。

“你放心,不管研發中遇到多少困難,我都會全力支持你們的研發!”

說這話的時候,王磊卻將思緒飄到了臺積電。

那裡有一位龍裔科學家,堪稱半導體“鬼才”一般的存在。

正是他提出了一種較為大膽的理念——浸沒式!

他創造性的提出用水作為曝光介質,光源波長還是用原來的193nm,但通過水的折射,使進入光阻的波長縮小到134nm。

以前的乾式法中,曝光介質用的是空氣。

它們的區別在於折射率,193 nm光源在空氣中的折射率為1,在水中折射率為1.4。

這也就意味著相同光源條件下,浸沒式光刻機的分辨率可以提高1.4倍。

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